2013年8月11日 星期日

台積電 年省一座水庫


台積電節約資源做法出版過書



台積電 年省一座水庫

2013-08-07 天下雜誌 528期 作者:王曉玟
台積電 年省一座水庫 圖片來源:王建棟 每年春天,驚蟄。春雨落不落,是台積電三廠廠務部部經理張智能心底最深的焦慮。

從農曆過年起,張智能每天回到家,打開智慧手機上水利署製作的「行動水情app」,皺著眉看新竹寶山水庫的水位。
若是春雨遲遲未落,身兼竹科同業公會水電氣供應委員會水資源組副召集人的張智能,就會和北水局、科管局、同業公會開始不斷開會聯繫,啟動「聯防機制」。
張智能年年都懷著「大旱將至」的恐慌開工上班。「每年都靠一場大雨,解決危機。但晶圓廠運作,不能光靠天吃飯,」他說。
全球風不調、雨不順。
台灣更因為雨季分配不平均,夏、秋兩季,雨來得又快又急。雨量「不患寡、而患不均」,讓台灣成為全球第十八名缺水國,名列聯合國水資源貧乏的地區之一。
去年,獲得「美國道瓊永續指數」半導體類冠軍的台積電,對水資源的風險管理,還勝過英特爾、三星。
這是因為,台積電不僅創下全球最高廢水回收率,也突破產業藩籬,主動分享台積電累積十多年的節水技術,更主動和政府合作,監控水情、調度用水。
「台積電水資源管理有兩條思惟,第一是『節水』,第二是『調適』,」台積電風管工安環保處處長許芳銘解釋。
節水,利人也利己。
走進台積電,目前處理最高階二十奈米製程的第十二廠地下室。頭頂上,廠內暱稱為「夾娃娃機」的機器人,在天花板上咻咻移動,夾起晶圓到下一道工序,有如置身熱鬧的《星艦奇航記》科幻影集世界。地下室,碩大的水管筆直前進,彷彿巨人的血管。
九成廢水回收率 全球最高
這裡是龐大的廢水處理處。廢水分成二十五類回收,經五套系統沉澱、純化。
每座晶圓廠的製程不同,廢水也不同。幾乎是每蓋一座新廠,就必須獨立開發出新的水質處理、監控系統。也難怪,每一個晶圓廠的中央控制中心,每個監控螢幕旁都擺了一包綠色的零食「乖乖」,一心祈禱,系統不要出錯、都要「乖乖」。
製程愈往前突破,節水愈困難。
例如,為了提高十二吋晶圓廠的製程良率,以往是每二十五片晶圓集中清洗,現在卻改成每一片單獨清洗,大幅提高良率,但也提升用水量與廢水處理難度。但台積電廠務團隊一一克服。

目前,台積電廢水回收率高達九成,全球半導體業界最高。一年省下三千七百多萬噸自來水,相當於每年省下一.二座寶山第二水庫,每年也為台積電省下七.五億台幣的成本。
身負社會期望的台積電,最近幾年有了更無私的嘗試。
為了『調適』旱澇異常,台積電積極開發新的水資源。台南永康將試辦城市汙水回收,台積電晶圓十五廠將率先和政府合作,將城市汙水作為新水源、再自行純化處理為製程用水。
台積電也率產業之先,開設節水課程,和其他企業一同致力降低水風險。
免費分享 獨家節水祕笈
從二○一一年起,在台積電志工社社長張淑芬推動下,台積電開始舉辦各式各樣的節水課程、論壇,免費分享台積電獨家「節水祕笈」,目前已累積五千多人次。
一一年,層層關卡、低調嚴密的晶圓廠,為一百六十多家企業打開大門,讓其他企業的廠務專家也能觀摩台積電之前祕而不宣的節水技術。最具意義的,是讓許多中小企業受惠。
「看到台積電如何用一套標準流程,降低製程用水,這點受用無窮,」宏遠興業尖端技術研究所副理林信宏回憶。
水風險,超越商業競爭,激起台積人與台灣「共好」的情懷。
許芳銘還記得,十一年前大缺水,水庫就要見底。竹科內,處在地勢較低的企業們卻願意關掉水閥,讓處在地勢較高的企業們也有水可用。「就像住在樓下的先關掉水龍頭,讓你樓上先用水。我相信這種共度難關的精神,台灣還是有,」許芳銘說。
這兩年,台積電志工走進校園,告訴小學生們「飲水思源」。志工們自製的生動教材投影片上寫著:「一杯牛奶要兩百公升的水,一個漢堡要兩千四百公升。算算看你今天的食物用了多少水?」、「如果整個地球的水只有一立方公尺,人類可以用的淡水只有一個養樂多瓶。」

從工廠到校園、從企業到政府,台積電的努力已從點連成線,但還需要更多企業響應,變成一個面。「不能再做沉默的大眾,」許芳銘有感而發地說

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